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故障現象：真空等離子清洗機清洗效果不佳，表面不潔凈

1. 故障原因：清洗時間過短、氣體流量過小、真空度不足。

2. 解決方案：適當延長清洗時間，保證足夠的清洗時間；調整氣體流量，保證氣體充足；檢查真空度，確保真空度符合要求。

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