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奧坤鑫：淺談等離子體發生器的分類
2016.09.12
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　　【真空等離子設備】等離子體發生器的分類：
 
　　1 高頻感應等離子體發生器 又稱高頻等離子體炬，或稱射頻等離子體炬。它利用無電極的感應耦合，把高頻電源的能量輸入到連續的氣流中進行高頻放電。
 
　　2 電弧等離子體發生器 又稱電弧等離子體炬，或稱等離子體噴槍，有時也稱電弧加熱器。它是一種能夠產生定向“低溫”（約 2000～20000開）等離子體射流的放電裝置。【等離子處理機】
 
　　3 低氣壓等離子體發生器 一種低氣壓氣體放電裝置，一般由三部分組成：產生等離子體的電源、放電室、抽真空系統和工作氣（或反應氣）供給系統。
 
　　通常有四類：靜態放電裝置、高壓電暈放電裝置、高頻（射頻）放電裝置和微波放電裝置。【卷對卷等離子處理設備】


 

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